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日前，2022年度辽宁省科学技术奖名单正式公布，沈阳芯源微电子设备股份有限公司提报的“集成电路前道芯片制程领域用单片式清洗机研发及产业化”项目喜获辽宁省科技进步一等奖。

该项目攻克了晶圆双面颗粒清洗等多项核心技术，成功研制了国内首台应用于集成电路前道芯片制程领域用单片式清洗机，并在多项核心技术方面实现重大创新，填补国内相关领域技术空白。

项目已在中芯国际、上海华力、厦门士兰集科等多个客户处通过工艺验证。产品满足集成电路前道芯片制程生产线的工艺要求，性能稳定，技术达到国际先进水平，并获得国内多家Fab厂商的批量重复订单，成功实现国产化发展。

（文章来源：上海证券报·中国证券网）